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Avances en la Litografía de Semiconductores en China
El sector de la litografía en China está experimentando un crecimiento significativo. Los fabricantes chinos están realizando un esfuerzo titánico para desarrollar máquinas de litografía avanzadas. Este impulso cuenta con el respaldo del Gobierno de Xi Jinping, que ha aprobado 41.000 millones de dólares en subvenciones para estas empresas. Este apoyo financiero es crucial para la producción de circuitos integrados.
Desarrollo de Tecnologías Propias
Empresas como SMIC y Huawei están optimizando sus procesos litográficos. Están mejorando las máquinas de litografía UVP de ASML que ya poseen. Por otro lado, otras compañías están desarrollando sus propias tecnologías. Naura Technology, AMEC y Piotech Inc. están liderando este esfuerzo.
Iniciativas del Gobierno Chino
El Ministerio de Industria y Tecnología de la Información (MITI) de China está supervisando estos avances. Recientemente, el MITI publicó una lista de nuevos equipos de litografía desarrollados en el país. Esta información es vital para los fabricantes de circuitos integrados, ya que les permite conocer las nuevas herramientas disponibles.
Equipos Destacados en la Lista del MITI
Entre los equipos mencionados, destacan dos máquinas sofisticadas. La primera utiliza una fuente de luz de criptón y flúor con una longitud de onda de 248 nm. Esta máquina tiene una precisión de alineación inferior a 25 nm y una resolución de 110 nm en obleas de 12 pulgadas.
La segunda máquina emplea una fuente de luz de flúor y argón con una longitud de onda de 193 nm. Su precisión de alineación es inferior a 8 nm, permitiendo una resolución de 65 nm en obleas de 12 pulgadas.
Limitaciones y Comparaciones
A pesar de estos avances, expertos de ASML advierten que estas máquinas no pueden producir circuitos integrados de 8 nm o menos. Esto indica que su rendimiento es inferior al de los equipos de ultravioleta extremo (UVE) de la compañía neerlandesa. Un ingeniero de ASML comparó las herramientas de litografía con cuchillos, sugiriendo que la habilidad del fabricante también influye en la calidad del producto final.
En resumen, el desarrollo de la litografía en China está en marcha, con un fuerte apoyo gubernamental y avances tecnológicos significativos.
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Imagen: ASML
